Leidend oog voor MEMS

Probleem: Om ervoor te zorgen dat ze de juiste delen van het hoornvlies targeten tijdens zichtcorrigerende Lasik-chirurgie, vertrouwen artsen op een scanner die reageert op oogbewegingen en laserpulsen omleidt. De scanners van vandaag kosten duizenden dollars en bieden nog steeds minder dan ideale precisie.

Ronde spiegels die in silicium zijn uitgehouwen, worden bestuurd door bewegingen van kamvormige structuren. (Met dank aan Hyuck Choo)

Oplossing: Aan de University of California, Berkeley, gebruikten onderzoekers van het Microfabrication Laboratory goedkope technieken om een ​​scanner op microschaal te bouwen die tot 30.000 keer per seconde beweegt, vergeleken met de 4.000 keer per seconde van conventionele technologie. Afgestudeerde studenten Hyuck Choo en David Garmire bedachten een manier om een ​​stuk silicium in twee in elkaar grijpende kamachtige structuren te snijden. Door een spanning op de ene kam aan te brengen, beweegt de andere kam omhoog of omlaag. Een spiegel die aan de kammen is bevestigd, stuurt een laserstraal om. Hoewel kamaandrijvingen al worden gebruikt in sommige micro-elektromechanische systemen (MEMS), moesten de kammen op afzonderlijke siliciumwafels worden gebouwd en handmatig in elkaar worden geklemd. Omdat het nieuwe apparaat eenvoudig te vervaardigen is, is dit niet alleen een stapsgewijze stap, maar een belangrijke ontwikkeling, zegt Roger T. Howe, de elektrotechnisch ingenieur van Stanford University die de kamaandrijving in de jaren tachtig uitvond. Choo zegt dat de technologie goedkoop kan worden ingebouwd in chirurgische scanners en andere apparaten.

zich verstoppen